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광폭 표면처리용 선형 이온빔 소스 및 공정 기술
  • 기술가격 : 미정 특허번호 : -
  • 기술분야 : - 기술유형 : -
  • 보유기관 : 재료연구소 기술완성도 : -
  • 응용분야 : 연구자 정보 :

*기술개요

* 강판 및 폴리머 표면처리용 광폭(>2m급) 선형 이온빔 발생기 설계/제작 기술

* 선형 이온빔 적용 강판 및 폴리머 표면 Etching 표면 개질 및 증착 플라즈마 공정 기술

 

* 기술 내용

* 경쟁 기술 대비 처리속도 1.5배 이상의 우수성

* 선형 이온빔 발생기 설계/제작 기술 확보를 통한 대면적 고속 표면 처리용 선형 이온빔 소스 개발 및 P社 파일럿라인에서 성능 검증

* 선형 이온빔 설계 기술 이전 및 국내외 표면처리용 이온소스 기술 향상 기여

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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